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王锐 , 李道火 , 黄永攀 , 罗丽明 , 浦坦
硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2004.03.002
氮化硅是优良的陶瓷材料,应用广泛.本文研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备了超微的、非晶纳米氮化硅粉体.实验证明,纳米氮化硅粉体具有一些特殊的物理性能和光谱特性.
关键词: LICVD Si3N4 双光束激发 红外吸收光谱 拉曼光谱
